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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z365)
作品数:
1
被引量:5
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相关作者:
甘小华
刘民
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李昕欣
许鹏程
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许鹏程
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刘民
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甘小华
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微纳电子技术
年份
1篇
2010
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微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路
被引量:5
2010年
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满足闭环自激振荡条件。该闭环系统的频率稳定性可达±0.1Hz,并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化。此外,单独设计了嵌入式的频率读出电路,用于检测并显示悬臂梁的谐振频率。将悬臂梁传感器、接口电路和频率读出电路集成在一起,做出了小巧便携式样机,用该样机可成功探测到体积分数低至约几个10-9量级的DMMP气体。
甘小华
刘民
于海涛
许鹏程
李昕欣
关键词:
接口电路
锁相环
频率跟踪
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