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SnO_2:F导电薄膜的制备方法和性能表征被引量：12: 2008年; 采用喷雾热分解(Spray pyrolysis)方法,以NH_4F、SnCl_2·2H_2O为原料,对反应液配方进行了优化,在普通玻璃衬底上制备出了光电性能优良的掺F二氧化锡透明导电薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV/VIS)对薄膜的结构、形貌、光学、电学特征进行了表征和分析。结果表明:在衬底温度为500℃,NH_4F/SnCl_2·2H_2O的质量百分比为20%,喷涂时间为15s时掺F二氧化锡薄膜的方块电阻最低达到6.2Ω/□,可见光透射率为86.95%,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。; 苗莉徐瑞松马跃良; 关键词：喷雾热分解法

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广东省科技攻关计划(2003C105007)