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国家重点实验室开放基金(9140c7903110708)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：李海华王庆康李小丽更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇修饰
  • 1篇气相法
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压印
  • 1篇纳米压印技术
  • 1篇表面修饰

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇李小丽
  • 1篇王庆康
  • 1篇李海华

传媒

  • 1篇上海交通大学...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米压印技术中模板表面的气相法抗粘连修饰被引量：6
2007年
研究了采用全氟四氢辛基硅烷(F13-TCS)对纳米压印技术中所用SiO2模板进行表面修饰的情况,分析了用气相法在SiO2模板表面形成F13-TCS单分子膜的形成过程及化学机理,并用X射线光电子能谱仪(XPS)和视频光学接触角测试仪对模板修饰表面的元素成分、价态和表面能进行了测试表征,用原子力显微镜(AFM)对压印过程中的模板结构及模板复制结构进行了对比分析.结果表明,通过F13-TCS对SiO2模板的表面修饰,可以大大降低模板与压印聚合物层之间的相互作用力,在纳米压印过程中实现结构较好的转移、复制.
李海华李小丽王庆康
关键词：纳米压印气相法表面修饰
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