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黑龙江省研究生创新科研项目(YJSCX2008-206HLJ)

作品数:1 被引量:1H指数:1
相关作者:陈奇高福毅王军姜宏伟陈玉强更多>>
相关机构:牡丹江师范学院更多>>
发文基金:黑龙江省研究生创新科研项目黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域:理学化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇金刚石膜
  • 1篇PCVD
  • 1篇CH
  • 1篇N
  • 1篇H

机构

  • 1篇牡丹江师范学...

作者

  • 1篇彭鸿雁
  • 1篇陈玉强
  • 1篇姜宏伟
  • 1篇王军
  • 1篇高福毅
  • 1篇陈奇

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
直流热阴极PCVD法CH_4:N_2:H_2气氛下制备纳米金刚石膜被引量:1
2010年
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,在CH4:H2中加入N2改变等离子体能量分布状态,提高二次形核比例,制备纳米金刚石膜。在CH4:H2气体中,在不同压力和温度下,改变通入N2的比例,分析直流热阴极等离子体放电下N2对金刚石膜生长的影响。采用拉曼光谱仪、扫描电镜(SEM)和X射线衍射分析仪(XRD)对样品进行了表征,结果表明,直流热阴极PCVD系统中,CH4:N2:H2气氛下,N2流量小于气体总流量的50%时,在6×103 Pa、850℃条件下,制备的金刚石膜样品的晶粒小于100nm、金刚石1332 cm-1特征峰展宽且强度较高、金刚石的XRD衍射峰强度也较高,具备纳米金刚石膜的基本特征。因此,利用直流热阴极PCVD方法,在较低温度和气压下,CH4:H2中加入少量N2,可以制备出纳米金刚石膜。
姜宏伟王军高福毅陈奇陈玉强彭鸿雁
关键词:PCVD
共1页<1>
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