中国工程物理研究院科学技术发展基金(20060427)
- 作品数:2 被引量:9H指数:2
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- 单晶硅表面载流子动力学的超快抽运探测被引量:8
- 2008年
- 利用800 nm波长的飞秒抽运探测技术测量了单晶硅表面50 ps内的瞬态反射率变化,研究了表面载流子的超快动力学过程。基于自由载流子密度变化过程建立的反射率模型可以很好地描述瞬态反射率变化,说明受激自由载流子超快响应的贡献主导了反射率的变化过程,经拟合获得了样品的表面复合速度(SRV)为1.2×106cm/s。建立了耦合的载流子输运模型,探讨了单晶硅表面热载流子的密度、温度随时间的演化过程。研究表明,表面复合过程是影响本征单晶硅表面载流子动力学的重要因素。
- 刘国栋王贵兵付博江继军王伟平罗福
- 关键词:超快光学飞秒激光
- 绝缘衬底上硅表面载流子的超快动力学研究被引量:4
- 2009年
- 利用800 nm波长的飞秒抽运探测技术测量了具有不同单晶硅薄膜厚度的绝缘衬底上硅(SOI)皮秒瞬态反射率变化,并通过基于受激载流子密度和温度变化过程建立的反射率模型讨论了SOI表面载流子的超快动力学过程。研究表明,表面复合速度(SRV)是影响载流子动力学响应的主要因素,且薄膜厚度越小表面复合速度就越大,对应的表面态密度可达到10^(15)cm^(-2)。对于较小的SRV,受激载流子的超快响应决定了瞬态反射率变化;而对于较大的SRV,晶格温升对瞬态反射率变化的贡献变得显著,使得反射率在更短的时间内恢复并超过初始值。
- 刘国栋王贵兵李剑峰付博罗福
- 关键词:飞秒激光