应用光学国家重点实验室开放基金(Y1Q03FQK09)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 相关作者：李晓彤岑兆丰尚红波许伟才庞武斌更多>>
- 相关机构：浙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 高准确度光学系统中材料非均匀性对成像质量的影响被引量：2
- 2013年
- 利用Zernike多项式对用Zygo干涉仪测得的离散材料折射率数据进行了拟合,再使用光线光学的方法评价了系统的成像质量.由于材料折射率分布的无规则性,在对包含非均匀介质的实际光学系统的模拟仿真和优化时,需要考虑选取材料不同部位加工成的透镜会对系统成像质量有不同的影响,而且加工好的透镜在装配过程中,绕着光轴旋转不同的角度同样会影响成像质量.通过计算机模拟的方法预先选取材料的最佳部位以及找到最好的装配位置,从而提高了光学系统的性能.
- 刘洋舟李晓彤岑兆丰许伟才尚红波阮望超
- 关键词：光学设计非均匀光线追迹成像质量
- 偏振对光学系统成像质量的影响被引量：9
- 2012年
- 通常情况下,评价光学成像系统像质的几个重要参数,如能量集中度(Strehl比)、分辨率、焦深等,都是以标量衍射理论为基础进行计算和分析的.考虑光波的矢量偏振特性,尤其是在高数值孔径系统中,标量衍射的精度已不能满足精度要求.本文讨论了在采用矢量衍射计算方法基础上,上述成像参数的变化,所讨论系统入瞳面各点为偏振方向一致的线偏光或部分偏光,以便于考察偏振对所述成像参数的影响,通过公式推导和数值计算,得出了由于偏振的影响.系统衍射斑能量极大值变小,像面和偏振平行方向分辨率降低,分辨率出现各向异性,只有系统焦深受偏振影响较小.而这些矢量效应会随着系统数值孔径的提高而愈加明显,因此在分析处理数值孔径较高的光学系统时必须使用矢量衍射方法.最后讨论了轴外点衍射斑的计算.
- 庞武斌岑兆丰李晓彤钱炜尚红波许伟才
- 关键词：偏振光矢量衍射理论成像质量数值孔径
- 实际高数值孔径光刻系统的偏振分析被引量：2
- 2013年
- 在光学系统偏振传输理论的基础上,对一高数值孔径(NA)的透射式光刻系统进行了偏振分析,分析中考虑了系统的实际特性——现有工艺水平可制备的增透膜、薄膜和基底材料的吸收作用以及偏振照明,以增加分析结果的可靠性。通过计算系统各光学界面的透射率、反射率、吸收率及二次衰减值等偏振参数,得到镀膜、吸收作用以及不同偏振照明对系统传输性能和成像性能的影响。结果表明镀膜能有效提高该光刻系统的性能及稳定性,并可以将不同偏振照明对该系统性能的影响减小至可忽略的水平;同时,显著的基底吸收作用是该系统能量损失的主因,但吸收引入的偏振作用相对总体而言较小。
- 罗红妹岑兆丰李晓彤张鲁薇张跃骞
- 关键词：光学设计投影光刻偏振分析增透膜
