广东省科技计划工业攻关项目(2008B010400015)
- 作品数：3 被引量：19H指数：2
- 相关作者：伍乃骐潘春荣更多>>
- 相关机构：广东工业大学汕头大学更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 具有并行加工模块的组合设备故障响应策略被引量：4
- 2010年
- 为了有效响应组合设备加工模块常出现的故障,通过分析单臂组合设备的并行模块及其加工流程模式,以及严格的逗留时间约束的晶圆加工过程,建立了Petri网模型,该模型能够描述系统的暂态特性和稳态特性。基于该模型,当并行模块中一个模块出现故障时,分析系统的可调度性,对可调度情况能够提出有效的运行控制策略,使得系统的晶圆不违反逗留时间约束。最后通过实例验证了该控制策略的可行性。
- 潘春荣伍乃骐
- 关键词：PETRI网晶圆制造
- 晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究被引量：15
- 2009年
- 晶圆制造的加工工艺日趋复杂,存在严格的逗留时间约束,无法解决自动化组合设备的调度问题,尤其对于重入加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动化组合设备调度的难点和局限性以及现有的调度方法及其局限性,提出了"仿真+启发式+优化"的方法,可能是有效解决组合设备调度问题的途径。
- 潘春荣伍乃骐
- 关键词：晶圆制造调度PETRI网
- 晶圆制造中单臂Cluster tool的建模与仿真被引量：2
- 2009年
- 对于单臂的Cluster tool,由于晶圆驻留时间的约束和作业时间的波动性,还没有解析的方法能够验证其调度的可行性和有效的调度方法。介绍了晶圆制造过程并基于Petri网模型,利用eM-Plant仿真平台建立了相应的晶圆制造的仿真模型。通过实例说明仿真模型能够虚拟单臂的Cluster tool、准确地仿真单臂的Cluster tool的晶圆制造模式;晶圆制造的仿真模型为研究其调度可行性分析和控制器设计提供了一种有效的手段。
- 潘春荣伍乃骐
- 关键词：晶圆制造CLUSTERTOOL调度
