福建省自然科学基金(E0520001)
- 作品数:2 被引量:5H指数:1
- 相关作者:汤儆林密旋曲东升丁庆勇马信洲更多>>
- 相关机构:厦门大学哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:福建省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- Unicode数据仓库ETL的设计与实现被引量:1
- 2008年
- 在Unicode数据装载过程中,如源字符集中的某个字符在目标字符集中没有定义,将会出现错误,产生信息丢失的现象。针对这种情况,该文提出一种从源Oracle数据库到目标Teradata数据仓库字符集转换的ETL设计方法和实现。实践表明该方案有效可行,能提高ETL过程的容错率。
- 许威李茂青
- 关键词:字符集数据仓库
- 微圆盘电极技术测定表面化学微加工时的约束刻蚀剂浓度分布被引量:4
- 2006年
- 利用微圆盘电极技术,测定了KBr、L-胱氨酸和硫酸组成的刻蚀溶液体系中Pt电极表面电化学氧化产生的刻蚀剂Br2浓度分布,为约束刻蚀剂层技术(CELT)中刻蚀体系的选择和优化提供更直观的依据.GaAs表面CELT微加工实验证明了用微圆盘电极测得的表面刻蚀剂的浓度分布趋势与微加工实验所得到的结果一致.
- 汤儆马信洲何辉忠张力林密旋曲东升丁庆勇孙立宁
- 关键词:约束刻蚀剂层技术L-胱氨酸GAAS
- 约束刻蚀剂层技术用于p型硅表面电化学微加工的研究
- 微机电系统中(MEMS)应用最为广泛也是最为重要的材料,硅的微加工已经成为MEMS中的核心技术之一.光刻技术是目前硅微加工的主流技术,近来许多新技术不断涌现,意图寻找更为简单可控、经济且可以实现三维结构加工的微加工方法....
- 张力汤儆马信洲田中群田昭武曲东升丁庆勇孙立宁
- 关键词:约束刻蚀剂层技术电化学微加工硅