国家教育部博士点基金(2004487026)
- 作品数：2 被引量：10H指数：2
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- 相关机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于荷花效应的双微观超疏水表面制作技术研究被引量：5
- 2009年
- 提出了基于荷花效应的双微观结构的制作及其复制技术,介绍了采用阳极氧化技术制作双微观结构氧化铝模板的方法。应用该模板采用纳米压印技术可制作塑料微流通道,采用纳米压印、反应离子刻蚀结合硅烷化和烷基烯酮二聚体(alkyl ketene dimmer,AKD)处理法可制作硅基仿生功能结构。表面接触角测试表明,采用该技术制作的塑料及硅结构具有超疏水性。该工艺可用于微流器件、微传感器、微执行器等塑料或硅基微机电系统(MEMS)器件功能表面的改形制造,在实现微观器件表面减摩防粘功能上具有广泛的应用前景。
- 张鸿海谢丹刘胜甘志银
- 关键词：超疏水表面纳米压印
- 一种微透镜阵列制作方法被引量：5
- 2006年
- 提出一种采用热压印技术制作微透镜阵列的方法.将聚合物加热到其玻璃转化温度以上,利用预先制备好的模板在适当的压力下压向聚合物样品,保持压力直到聚合物温度降到玻璃转化温度以下,将模板移去后,模板上图形便转移到样品表面.根据热压印工艺要求,研制了一台热压印设备,并利用这台设备制作了单元口径大小为40μm,单元之间间距为60μm的256×256单元8位相台阶衍射微透镜阵列.制作的微透镜阵列SEM图表明图形台阶清晰、各单元一致性好.光学性能测试表明制作的微透镜阵列聚焦的三维光强分布集中,具有较高的峰值.从制作工艺可以看出,利用热压印的方法制作微透镜阵列工艺简单,对制作设备要求不高,为实现低成本、高分辨率、大批量制造微透镜阵列等器件创造了条件.
- 张鸿海范细秋胡晓峰刘胜
- 关键词：微透镜阵列热压印衍射
