上海市科委纳米专项基金(11nm0560800)
- 作品数：2 被引量：14H指数：2
- 相关作者：吴俊杰李源傅云霞蔡潇雨雷李华更多>>
- 相关机构：上海市计量测试技术研究院中国计量学院上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家质检公益性行业科研专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 纳米尺度标准样片光学表征方法的研究被引量：8
- 2012年
- 重点研究了纳米尺度标准样片的光学表征方法。采用基于纳米测量机(NMM)的激光聚焦传感器(LFS)和扫描白光干涉传感器(SWLIS)分别对平面尺度的标准样片和台阶标准样片进行了测量、分析与比较。实验结果表明,利用该纳米测量机LFS对标定值为3μm的TGZ1一维栅格样片进行测量,其扩展不确定度为4.2 nm,实现了精确表征。利用SWLIS测量方法对标定值为49.217μm的SHS8-50.0高台阶标准样板进行测量,测量不确定度分析结果为0.065 7μm,实现了采用光学检测技术跨尺度对纳米尺度精密器件和结构进行表征。扩大了基于纳米测量机光学表征方法的应用范围,有利于纳米几何量量值溯源体系的建立。
- 李源雷李华高婧傅云霞蔡潇雨吴俊杰
- 关键词：镀膜技术表面粗糙度
- MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准被引量：7
- 2013年
- 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
- 吴俊杰李源李东升卢歆何明轩
- 关键词：微机电系统校准装置纳米测量机
