国家高技术研究发展计划(2004AA843081)
- 作品数：1 被引量：11H指数：1
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 基于非周期多层膜的X射线成像研究被引量：11
- 2006年
- 本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·
- 顾春时王占山穆宝忠王风丽张众秦树基陈玲燕
- 关键词：空间分辨率
