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国家自然科学基金(59633110)

作品数:5 被引量:7H指数:2
相关作者:曹维孝张拥军洪啸吟段生权涂光中更多>>
相关机构:清华大学北京大学浙江大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信化学工程理学更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 2篇化学工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇无显影气相光...
  • 2篇光刻
  • 1篇氧化硅
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇树脂
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇重氮
  • 1篇重氮树脂
  • 1篇重氮盐
  • 1篇相互作用
  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇磺化
  • 1篇磺化杯芳烃
  • 1篇激光
  • 1篇激光光刻
  • 1篇光敏
  • 1篇硅膜
  • 1篇二氧化硅

机构

  • 3篇清华大学
  • 2篇北京大学
  • 1篇浙江大学

作者

  • 2篇张拥军
  • 2篇曹维孝
  • 2篇洪啸吟
  • 1篇陈明
  • 1篇涂光中
  • 1篇段生权

传媒

  • 1篇高等学校化学...
  • 1篇感光科学与光...
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇国际学术动态
  • 1篇Chines...

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2000
  • 3篇1999
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
酚醛树脂重氮树脂或重氮盐的感光性复合物被引量:1
2000年
在水溶液中制备了酚醛树脂与重氮盐 (PR DS)和重氮树脂 (PR DR)的复合物 .与重氮盐或重氮树脂同时加入硫酸成功地抑制了重氮基与酚醛树脂的偶联反应 .复合物PR DR在有机溶剂中的溶解度大于PR DR ,其在DMF中的溶解度可达到 4.46% .两种复合物都具有很高的光敏性 .在紫外光照下 ,PR DR的离子键将转化为共价键从而不溶于DMF ,因而可用作光成像材料 .
张拥军曹维孝
关键词:重氮盐重氮树脂酚醛树脂
193nm光刻胶研究现状
1999年
第23届SPIE微细光刻学术会议于1998年2月22日至27日在美国加利福尼亚州Sa-ta clara市召开。与会者有1500余人,发表论文约500篇。分会场有:①新的微细刻蚀技术,②光刻技术的计量、检验和程序控制,③抗蚀剂进展,④光学光刻技术。笔者以"无显影气相光刻在蚀剂氮化硅上的应用"一文参加了"新的微细刻蚀技术"的分会。
洪啸吟
关键词:无显影气相光刻抗蚀剂激光光刻发表论文
磺化杯芳烃与二苯胺重氮盐的包结物被引量:3
2003年
磺化杯芳烃与二苯胺重氮盐形成摩尔比为 1∶ 1的包结物 ,在磺化杯芳烃存在时 ,二苯胺重氮盐的吸光强度下降 ,吸收峰红移 ,核磁共振氢谱的化学位移向高场移动 .杯芳烃的环越大 ,与重氮盐的结合常数越大 .在磺化杯芳烃的存在下 ,重氮盐的热稳定性提高 ,同时仍保持较高的光敏性 .
张拥军涂光中曹维孝
关键词:磺化杯芳烃包结物相互作用
溶胶-凝胶法制备二氧化硅膜及其无显影气相光刻被引量:3
1999年
为使无显影气相光刻应用于非硅衬底材料的刻蚀,扩宽其应用范围,研究了无显影气相光刻在溶胶 凝胶法制备的二氧化硅膜中的应用。通过对溶胶 凝胶化学过程的分析,考察了凝胶二氧化硅薄膜制备过程中的几个重要工艺参数,制备了结构均匀的二氧化硅薄膜。并将无显影气相光刻的方法应用于这种二氧化硅膜的刻蚀,通过优化后的光刻工艺参数得到了反差明显的光刻图形。
洪啸吟段生权陈明张斌王培清
关键词:溶胶-凝胶法二氧化硅无显影气相光刻光刻
EFFECT OF ACIDITY ON ACID-SENSITIVE UV CURING SYSTEM
1999年
By using diphenyliodonium salts with different counterions as photo acid generators (PAGs), the effect of acidity on ring-opening polymerization of epoxy monomers and polycondensation of polyol with hexamethoxymethyl melamine (HMMM) was studied. The result shows that the rate of ring-opening polymerization is evidently dependent on the acidity of the acid and strong photo-generated acid is required. However, there is a leveling effect in the polycondensation system; if the photo-generated acid is stronger than protonated HMMM, the acidity does not obviously affect the polycondensation rate.
洪啸吟
共1页<1>
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