吉林省科技发展计划基金(20050319)
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
- 相关作者：陈维友董玮贾翠萍周敬然刘彩霞更多>>
- 相关机构：吉林大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 体硅MOEMS阵列光开关的制作被引量：2
- 2006年
- 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。
- 董玮梁静秋刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然王立军陈维友
- 关键词：光开关阵列微光电子机械系统微反射镜倾斜下电极
- 8×8 MEMS光开关阵列的制作
- 2006年
- 采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.
- 贾翠萍董玮周敬然刘彩霞臧会东玄伟徐宝琨陈维友
- 关键词：光开关微反射镜开关时间
- 光子射频移相器研究与进展被引量：1
- 2007年
- 光子射频移相器是光控相控阵的关键器件,近几年引起了广泛的关注。介绍了基于光实时延迟线、基于外差混频技术和基于矢量和技术的光子射频移相器,对其工作原理和技术特点作了分析。集成光学技术的发展将推动光子射频移相器向集成化、微型化的方向发展。
- 马文英董玮刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然陈维友
- 阵列光开关驱动结构制作工艺的研究
- 2007年
- 采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作。采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大的改善,并且抛光不影响器件的结构,最后制作出了均匀一致的光开关阵列扭臂驱动结构。
- 贾翠萍董玮仲志成周敬然李元元陈维友
- 关键词：光开关微反射镜
- 新型集成聚合物波导/聚合物分散液晶光子射频移相器的设计被引量：3
- 2006年
- 可控光子射频移相器是光控相控阵中的关键器件,本文用分立元件组成了光子射频移相器系统,对相移角度进行了测试,提出了一种新型的单片集成聚合物波导/聚合物分散液晶光子射频移相器的设计思想,介绍了移相器的制作工艺,分析了该移相器的优点.
- 董玮刘彩霞张歆东阮圣平周敬然贾翠萍王立军陈维友
- 关键词：光子射频移相器聚合物波导聚合物分散液晶
