江门市科技计划项目(2011010049758)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 相关作者：徐维王忆李阳朱铭佳陈奎更多>>
- 相关机构：五邑大学西安交通大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金江门市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备
- 2013年
- 采用紫外纳米压印工艺,在有机发光二极管(OLED)衬底上制备三维立体微结构,可以有效提高器件的出光效率,增加器件发光亮度。而有效实施纳米压印工艺的先决条件是纳米压印模板的制备。首先在沉积有金属Cr薄膜阻挡层(厚度为20 nm)的石英基片上旋涂一层电子敏感光刻胶,然后通过电子束光刻(EBL)技术进行曝光、显影,在光刻胶上形成三维纳米微结构图案。再利用反应离子刻蚀技术和湿法腐蚀技术相结合的方法进行图形的转移,将光刻胶上的纳米微结构转移至石英基片上。通过以上方法制备的纳米压印模板,其微结构具有较好的分布均匀性,可以满足紫外纳米压印技术制备微结构的工艺要求。
- 李阳徐维王忆陈奎朱铭佳潘雅雯梁景生
- 关键词：紫外纳米压印微结构
- 紫外纳米压印OLED衬底微结构的制备技术被引量：1
- 2013年
- 在有机发光二极管(OLED)器件衬底上制备可传递三维立体微结构可有效消除波导、增加出光耦合,从而增加器件出光效率。纳米压印技术是制备立体微结构的主要方法之一。采用紫外纳米压印技术在OLED衬底上制备三维立体微结构。首先采用电子束光刻(EBL)技术与干法刻蚀相结合的方法来制备高精度的紫外纳米压印模板;然后对模板进行清洗与抗粘连处理;最后采用紫外纳米压印技术在OLED衬底上成功制备了可传递三维立体微结构。制备结果表明,所形成的微结构具有均匀性好和压印精度高的特点。
- 李阳徐维王忆
- 关键词：衬底微结构紫外纳米压印
