国家高技术研究发展计划(200XAA4C3000)
- 作品数：3 被引量：15H指数：3
- 相关作者：李玉军刘君华梁琨汤晓君黄春霞更多>>
- 相关机构：西安交通大学西安理工大学上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程电子电信更多>>
- 基于四象限光电探测器的对准与测量系统优化设计--系统优化被引量：6
- 2008年
- 在构建四象限光电探测器的测量/对准系统数学模型的基础上,提出了一种搜寻算法,以优化系统,使得对准模型具有线性化的输入输出关系,且具有非常高的选择性。系统仿真结果表明,在四象限光电探测器光电转换系数为常数情况下,所提出的模型优化方法正确可行。掩模板位置偏移量与光电探测器的输出具有线性关系,不论是在横向方向还是纵向方向,而且消除了x、y两个方向偏移量的交叉敏感,这使得消除四象限光电探测器安装位置偏差带来的影响成为可能,提高了探测器的应用效率和测量/对准的准确度。模型的实测结果表明,经优化后的系统微位移检测误差与对准误差均小于2μm。
- 汤晓君李玉军刘君华梁琨
- 晶圆预对准精确定位算法被引量：7
- 2007年
- 针对IC制造工艺中传统的晶圆预对准控制系统预对准精度不高和占用空间较大的不足,提出了一种采用高精度激光位移传感器和低成本的透射式激光传感器的新型晶圆预对准系统,并结合该系统的特点提出了相应的晶圆预对准精确对位算法,而且进行了晶圆预对准重复性精度检测和实验验证.该系统用两种传感器数据融合的方式来检测晶圆的边缘,用质点系重心法确定晶圆形心和缺口位置,最终实现了微米级的晶圆预对准.该系统提高了对准算法的精度,减小了预对准台占用的实际空间,降低了成本.实验结果验证了该系统的有效性.
- 黄春霞曹其新刘仁强
- 基于系统建模的四像限光电探测器对准与微位移测量系统被引量：4
- 2009年
- 通过对基于四像限光电探测器的对准系统的光路分析,将系统的输入输出关系的确定转化为平面光照面积的计算,并给出了探测器各像限光照面积的求取方法,从而构建了该系统的数学模型。对该系统进行了仿真,并给出了系统的实测结果。仿真结果表明,通过设置不同的米字型标记参数,系统的输入输出关系具有不同的线性度。证明的确存在一个最佳结构参数组合,存在优化的可能。实测结果表明,该系统的最大对准偏差小于2μm,实测偏差小于2μm。佐证了模型的正确性,表明四像限光电探测器的对准应用可扩展到微量位移的测量。模型省去了繁杂的标定工作,消除了标定引入的非线性误差,提高了探测器的应用效率和准确度,因此具有较高的实际意义。
- 汤晓君李玉军刘君华梁琨
- 关键词：光学器件微位移测量
