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国家自然科学基金(50390060)

作品数:55 被引量:307H指数:12
相关作者:雒建斌胡元中王慧张朝辉董闯更多>>
相关机构:清华大学上海交通大学北京交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:机械工程理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 55篇期刊文章
  • 8篇会议论文

领域

  • 19篇机械工程
  • 15篇一般工业技术
  • 13篇理学
  • 11篇自动化与计算...
  • 5篇金属学及工艺
  • 3篇化学工程
  • 3篇电子电信
  • 2篇自然科学总论
  • 1篇哲学宗教
  • 1篇核科学技术

主题

  • 9篇动力学
  • 9篇纳米
  • 9篇化学机械抛光
  • 9篇机械抛光
  • 9篇分子
  • 9篇分子动力学
  • 8篇动力学模拟
  • 8篇分子动力学模...
  • 5篇碳纳米管
  • 5篇自组装
  • 5篇纳米管
  • 5篇类金刚石
  • 4篇性能研究
  • 4篇抛光
  • 4篇全氟聚醚
  • 4篇摩擦学
  • 4篇聚醚
  • 4篇溅射
  • 4篇磁控
  • 4篇磁控溅射

机构

  • 29篇清华大学
  • 11篇上海交通大学
  • 9篇大连理工大学
  • 9篇北京交通大学
  • 2篇大连交通大学
  • 2篇华中科技大学
  • 2篇北京航空航天...
  • 2篇上海大学
  • 1篇吉林大学
  • 1篇上海电力学院
  • 1篇同济大学

作者

  • 16篇雒建斌
  • 13篇王慧
  • 13篇胡元中
  • 9篇张朝辉
  • 8篇董闯
  • 7篇邓新绿
  • 6篇丁万昱
  • 6篇徐军
  • 5篇温诗铸
  • 4篇李欣
  • 4篇王安麟
  • 4篇彭倚天
  • 4篇高鹏
  • 3篇丁汉
  • 3篇陆文琪
  • 3篇王石刚
  • 3篇马天宝
  • 3篇姜涛
  • 3篇徐进
  • 2篇林国强

传媒

  • 11篇物理学报
  • 6篇润滑与密封
  • 3篇科学通报
  • 3篇中国机械工程
  • 3篇上海交通大学...
  • 3篇Scienc...
  • 2篇机械工程学报
  • 2篇摩擦学学报(...
  • 2篇机械科学与技...
  • 2篇Chines...
  • 2篇北京交通大学...
  • 2篇Scienc...
  • 1篇稀有金属材料...
  • 1篇现代制造工程
  • 1篇光学技术
  • 1篇机械强度
  • 1篇机床与液压
  • 1篇核聚变与等离...
  • 1篇高分子材料科...
  • 1篇机械设计

年份

  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 10篇2007
  • 23篇2006
  • 21篇2005
  • 4篇2004
55 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
Formation and tribology properties of polyfluoroal-kylmethacrylate film on the magnetic head surface被引量:2
2005年
A polyfluoroalkylmethacrylate (PFAM) film has been coated on the surface of the magnetic head by a dipping coating method to modify the surface properties. The films were characterized by means of a time-of-flight secon- dary ion mass spectrometer (TOF-SIMS), contact angle measurement and atomic force microscopy (AFM). The re- sults indicate that the concentration of the solution is the main factor affecting the thickness, contact angle and surface topography of the film. The magnetic head with the PFAM film at a concentration of 500 ppm exhibits the best tribology properties, and the stiction between the magnetic head and the disk is no more than 2.4 g after 20000 contact start stop (CSS) cycles. Therefore, a fully covered PFAM film with few defects helps improve the tribology properties of the mag- netic head, and decrease the adsorbed contaminant on the magnetic head surface.
HU Xiaoli ZHANG Chenhui LUO Jianbin WEN Shizhu
关键词:摩擦学分光计
整合规则下的结构拓扑自组织进化设计被引量:1
2005年
结构拓扑自组织进化规则的选择对结构拓扑的进化过程有决定性影响。与采用单一进化规则体系的结构进化过程相比,本文提出采用基于应力场的局部间接力学规则和基于拓扑结构质量分布的BP神经网络的局部直接规则相结合的方法,在此基础上的结构拓扑自组织进化过程可以大幅节省运算时间,同时收敛性较好。通过对一典型悬臂深梁模型的实际拓扑进化模拟,表明了该方法的可行性和有效性。
姜涛朱灯林王安麟王石刚
关键词:结构拓扑优化元胞自动机BP神经网络
化学机械抛光中抛光垫作用分析被引量:17
2007年
化学机械抛光(chemical mechanical polishing/planarization,CMP)能够提供高级别的整体平面度和局部平面度而成为集成电路(integrated circuit,IC)中起重要作用的一门技术.抛光垫是CMP性能的主要影响因素.这里建立了一个初步的二维流动模型以考虑抛光垫的弹性、孔隙参数、粗糙度以及晶片形状等因素对抛光液流动性能的影响,并通过数值模拟得出了它们对压力分布和膜厚等的作用.结果表明:由于抛光垫的变形和多孔性,承载能力将有所下降,膜厚增大,从而有利于抛光液中粒子和磨屑的带出.晶片表面曲率的变化对压力和膜厚的作用也很明显,全膜条件粗糙度的存在将引起流体压力的波动.研究为设计CMP中合适的抛光垫参数提供了初步的理论依据.
张朝辉杜永平常秋英雒建斌
关键词:化学机械抛光抛光垫抛光液粗糙度
含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤实验研究被引量:8
2006年
利用高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜观察了含纳米颗粒溶液冲蚀硅片表面损伤行为,考察了纳米颗粒碰撞单晶硅片所导致的微观物理损伤.结果表明:冲蚀30 s后,在高分辨透射电子显微镜下可见硅片表面呈现方向性损伤,并可观察到大量非均匀的晶格缺陷;当冲蚀10 m in时,硅片表面出现微观划痕和凹坑,在划痕一端可见原子堆积,亚表面可观察到镶嵌晶粒的非晶损伤层;继续延长冲蚀时间将加剧其表面损伤.
徐进雒建斌
关键词:单晶硅冲蚀磨损
Ultra-thin a-SiN_x protective overcoats for hard disks and read/write heads
2009年
This paper reports that amorphous silicon nitride (a-SiNx) overcoats were deposited at room temperature by microwave ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering. The 2 nm a-SiNs overcoat has better anti-corrosion properties than that of reference a-CNx overcoats (2 4.5 nm). The superior anti-corrosion performance is attributed to its stoichiometric bond structure, where 94.8% Si atoms form Si-N asymmetric stretching vibration bonds. The N/Si ratio is 1.33 as in the stoichiometry of Si3N4 and corresponds to the highest hardness of 25.0 GPa. The surface is atomically smooth with RMS 〈 0.2 nm. The ultra-thin a-SiNx overcoats are promising for hard disks and read/write heads protective coatings.
丁万昱徐军陆文琪邓新绿董闯
关键词:ULTRA-THIN
pH值和浓度对CeO_2抛光液性能影响的研究被引量:7
2005年
研究了氧化铈抛光液颗粒浓度和pH值的变化对抛光液悬浮性能、接触角和粘度的影响。结果表明:随着浓度和pH值的变化,氧化铈抛光液悬浮性能、接触角和粘度均出现变化。随着原始抛光液被逐渐稀释,抛光液的悬浮性能下降,接触角和粘度也减小,然而pH值的变化对它们的影响则较为复杂。
徐进苏亚潘国顺雒建斌
关键词:PH值稳定性
高加速度运动和精确定位臂的振动主动控制被引量:7
2006年
刚/柔耦合结构的高加速度运动和精确定位一直是航空航天机构、精密设备和机器人等高尖端技术领域的关键功能要求。文中以微电子和半导体制造领域中的高速精准运动臂为研究对象,首先回顾相关的结构动力学研究成果,从而对系统动力学特性进行系统总结;在此基础上,重点对振动主动控制方法进行分析和讨论,最后结合实际工程背景,提出目前尚需解决的关键问题以及相应的解决问题的新思路,从而为进一步的研究进展或突破提供可能。
周烁李运堂孟光丁汉
关键词:振动主动控制
Structure and Tribology Property of Carbon Nitride Films Deposited by MW-ECR Plasma Enhanced Unbalanced Magnetron Sputtering
2006年
Carbon nitride films were deposited by a twinned microwave electron cyclotron resonance (ECR) plasma source enhanced unbalanced magnetron sputtering system. The results indicate that the structure of the films is sensitive to the nitrogen content. The increase in the nitrogen flow ratio leads to an increase in the sp3 content and an improvement of the tribological properties.
高鹏徐军朴勇丁万昱邓新绿董闯
Molecular origin of friction
2004年
The wearless friction originating from molecular interactions has been discussed in this paper. We find that the frictional properties are closely related to the structural match of two surfaces in relative motion. For the surfaces with incommensurate structure and week inter-surface interaction, zero static and kinetic friction can be achieved. In a sliding considered as in a quasi-static state, the energy dissipation initiates when interfacial particles move in a discontinuous fashion, which gives rise to a finite kinetic friction. The state of superlubricity is a result of computer simulations, but the prediction will encourage people to look for a technical approach to realizing the state of super low friction.
WANG Hui ZHANG Tao HU Yuanzhong
关键词:INTERFACIALMOLECULAR
A new lubrication equation for ultra-thin gas film in hard disk drives被引量:1
2004年
To overcome the complicated and time-consuming difficulties of current models, a new lubrication equation based on boundary velocity slip model for solving the ultra-thin film gas lubrication in hard disk drives is proposed by adopting the nanoscale effect function, Np. The present model is easy to calculate and applicable at nanoscale.The results of numerical calculations indicate that the present model produces a close approximation to that of the exact Boltzmann model.
PENG Yongqing LU Xinchun LUO Jianbin
关键词:NANOSCALEGASFLYING
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