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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-08-0184)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
朱勇建
余剑武
王宇
尹韶辉
陈逢军
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相关机构:
湖南大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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尹韶辉
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朱勇建
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激光与光电子...
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2012
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一种超精密非球面在位测量方法
被引量:5
2012年
高面形精度非球面加工,离不开面形测量和误差补偿加工。离线测量容易导致工件装夹误差,并带来非加工时间增加。为解决这一问题,采用一种利用接触式的微小测头与激光干涉位移测量计相结合的在位形状测量装置,直接对磨削后的工件表面进行在位形状误差测量。介绍了该在位测量方法的原理及非球面测量过程,探讨了回转对称轴在半径方向的误差与测头倾角误差对测量误差的影响,并进行了补偿加工实验。对加工后的微小非球面进行了在位测量,并与超精密离线测量系统测量结果进行了比较。
陈逢军
尹韶辉
余剑武
王宇
朱勇建
关键词:
光学测量
接触式测量
非球面
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