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中国科学院知识创新工程(61501060302)

作品数:1 被引量:5H指数:1
相关作者:李向阳周文洪乔辉龚海梅叶振华更多>>
相关机构:中国科学院更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇钝化
  • 1篇探测器
  • 1篇氢化
  • 1篇碲镉汞
  • 1篇光伏探测器

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇叶振华
  • 1篇龚海梅
  • 1篇乔辉
  • 1篇周文洪
  • 1篇李向阳

传媒

  • 1篇红外与毫米波...

年份

  • 1篇2007
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
碲镉汞光伏型探测器的氢化处理研究被引量:5
2007年
利用氢等离子体方法研究了氢化处理对碲镉汞光伏型红外探测器性能的影响,发现对ZnS介质层钝化的器件进行氢化处理后,器件的信噪比和零偏电阻有显著的改善.通过采取在氢化过程中进行光刻胶保护的方法,发现氢化作用主要发生在注入区域之外的P区一侧;通过SIMS测试分析发现氢化过程中H离子可以穿过ZnS层到达ZnS与碲镉汞的界面处.分析认为氢离子对ZnS和碲镉汞的界面产生钝化,降低了界面态密度,减弱了P型区的表面漏电,提高了PN结的击穿电压和结电阻,从而改善了器件的性能.
乔辉周文洪叶振华李向阳龚海梅
关键词:氢化钝化光伏探测器碲镉汞
共1页<1>
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