国家重点基础研究发展计划(G1999033103)
- 作品数：17 被引量：96H指数：8
- 相关作者：蒋庄德赵则祥王海容陆德仁朱强更多>>
- 相关机构：西安交通大学中原工学院中国科学院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试被引量：5
- 2001年
- 硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器。进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行。本工作主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果。
- 蒋庄德赵玉龙
- 关键词：微压力传感器掩膜版
- 压电作动器在微力微位移装置中的应用被引量：8
- 2002年
- 在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载 ,设计了加载机构 ,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移 ,实验得到加载系统刚度 ,根据压电作动器输入电压、加载装置刚度 ,计算出加载力大小。
- 王海容赵则祥蒋庄德
- 关键词：压电作动器闭环控制柔性铰链加载机构
- 微系统动力学研究的一些新进展
- 简要总结近年来在微系统力学研究方面的主要进展,包括: (1)表面力(van der Waals(vdW)力、静电力、Casimir力、毛细力等)在MEMS/NEMS中的作用,如对吸合(pull-in)、动力学行为的影响;...
- 赵亚溥
- 关键词：微系统动力学稳定性
- 文献传递
- 气相沉积Ni薄膜的微结构和力学性能
- 气相沉积Ni薄膜是微机械技术中的重要材料.本文采用SEM、TEM、AFM和毫牛力学探针研究了不同沉积温度下Ni薄膜的微结构和力学性能,并研究了基片温度对其微结构和力学性能的影响.结果表明,室温下溅射沉积的Ni薄膜晶粒细小...
- 劳技军韩增虎田家万李戈扬杨春生
- 关键词：微结构显微硬度弹性模量
- 文献传递
- 基于ME MS的光开关研发与产业化问题被引量：8
- 2001年
- 针对MEMS光开关的相关技术问题 ,就国内外基于MEMS光开关的研发及其产业化概况以及我国与国外在该领域中存在的差距进行了阐述和分析。
- 蒋庄德赵则祥王海容
- 关键词：光开关MEMS微机电系统
- 纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的影响因素分类及评价被引量：11
- 2002年
- 在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素。在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量进行了测量与评定,其硬度和弹性模量的评定结果分别为13.57GPa±0.85GPa和156.33GPa±7.85GPa。
- 赵则祥蒋庄德王海容
- 关键词：纳米压入微机械材料力学性能不确定度
- 纳米压入法测量中初始接触点判断问题研究
- 2003年
- 对于纳米压入法 ,在加载过程中 ,压头尖与试样表面的初始接触点必须判断准确 ,初始接触点判断的精度将对测量结果产生很大的影响。本文利用西安交通大学精密工程研究所研制的微力微位移测试仪 ,对初始接触点判断的相关问题进行了深入研究。在压头尖与试样表面接触前 ,由电容测微仪测得的位移值是加载装置空载下的输出值 ;而当压头尖与试样表面接触后 ,压头与试样之间将产生作用力 ,使电容测微仪的测量值偏离加载装置空载下的输出曲线趋势。分别用一直线和一多项式曲线对压头无载荷和有载荷作用时测得的电压位移曲线进行拟合 ,拟合直线和曲线的交点即可作为初始接触点。大量的实验表明 ,运用上述方法可使初始接触点的判断精度在± 10nm。
- 杨树明朱强赵则祥蒋庄德
- 关键词：接触点力学性能
- 微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能被引量：5
- 2003年
- 利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数。低应力LPCVD氮化硅薄膜的研究结果:杨氏模量为(308.4±24.1)GPa,残余应力为(252.9±32.4)MPa,弯曲强度为(6.2±1.3)GPa。
- 宗登刚王钻开陆德仁王聪和陈刚
- 关键词：氮化硅薄膜力学性能杨氏模量残余应力
- 基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响
- 劳技军韩增虎胡晓萍李戈扬杨春生
- 文献传递
- 采用概率法进行柔性铰链的设计和分析被引量：3
- 2004年
- 采用概率法对柔性铰链进行了设计 ,从柔性铰链转角刚度、转动中心偏移、最大应力 3个方面 ,分析了设计中值得注意的问题 ,着重讨论了蒙特卡诺模拟法在柔性铰链设计中的应用 ,建立了参数化模型 ,利用有限元仿真对柔性铰链的主要参数进行设计 ,通过与常规确定性设计结果比较 ,表明采用概率法设计柔性铰链更符合实际情况。
- 朱强赵则祥蒋庄德
- 关键词：柔性铰链有限元
