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福建省科技计划项目(2002H022)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：刘益芳吕文龙孙道恒更多>>
相关机构：厦门大学更多>>
发文基金：福建省科技计划项目国家自然科学基金福建省自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇化学工程

主题

  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇一致性
  • 2篇截面
  • 2篇截面梁
  • 2篇变截面
  • 2篇变截面梁

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇孙道恒
  • 2篇吕文龙
  • 2篇刘益芳

传媒

  • 1篇中国机械工程
  • 1篇中国微米、纳...

年份

  • 2篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
变截面梁的微电镀研究
2005年
介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.
刘益芳吕文龙孙道恒
关键词：悬臂梁变截面一致性
变截面梁的微电镀研究
介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程。为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果。实验结果表明,脉...
刘益芳吕文龙孙道恒
关键词：悬臂梁变截面一致性
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