国家高技术研究发展计划(2002AA431150)
- 作品数：2 被引量：10H指数：1
- 相关作者：黄军容伊福廷彭良强张菊芳韩勇更多>>
- 相关机构：中国科学院北京工业大学更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
- 3B1束线上LIGA掩模的设计研究
- 2003年
- BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。
- 黄军容彭良强伊福廷蒋毅坚张菊芳韩勇
- 关键词：光刻工艺掩模X射线
- 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究被引量：10
- 2004年
- 比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
- 邹丽芸张院春彭良强黄军容伊福廷张菊芳韩勇
- 关键词：微细加工LIGA技术电火花加工
