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超声振动车削的研究现状被引量：7: 2013年; 对超声振动车削的特点进行详细的介绍。介绍了超声振动车削的分类方式:一维超声直线振动车削、二维超声椭圆振动车削和三维超声3D振动车削,同时论述了一维超声直线振动车削、二维超声椭圆振动车削和三维超声3D振动车削的切削原理、研究现状与应用。最后总结了超声振动车削现阶段所存在的问题并提出了今后的发展趋势。; 陈天驰杨海峰赵恩兰郝敬宾钱济国朱华; 关键词：超声振动系统超声振动加工超声振动切削

双尺度织构的激光光刻工艺被引量：3: 2013年; 搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行x,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同。实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。; 贺海东郝敬宾赵恩兰杨海峰唐玮朱华钱济国; 关键词：双光束干涉双尺度表面织构激光光刻

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中国博士后科学基金(2012T50522)