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甘肃省教育厅研究生导师科研项目(0501-04)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
马书懿
陈海霞
张汉谋
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相关机构:
西北师范大学
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发文基金:
甘肃省教育厅研究生导师科研项目
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2006
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电子设备退化分析的新方法
被引量:1
2006年
偏压浸透模型是基于对实际薄膜设备退化的分析而提出的,研究的是类似于薄膜退化过程的导体向绝缘体或半导体的转化过程,并对标准浸透模型和偏压浸透模型做一对比,进一步说明偏压浸透模型更适合于分析实际薄膜的退化.
马书懿
陈海霞
张汉谋
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