国家重点基础研究发展计划(2009CB929602)
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 相关作者：张礼杰杨晓燕尤立星黄少铭陈健更多>>
- 相关机构：温州大学中国科学院南京大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 超导纳米线单光子探测器件的制备被引量：3
- 2010年
- 超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是超导单光子探测系统的核心器件。文中介绍了成功制备的基于5nm厚的NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件。器件核心结构为150nm宽的纳米曲折线结构,纳米线条占空比为75%,面积为20μm×20μm。超导纳米线是利用电子束曝光(EBL)技术和反应离子刻蚀(RIE)等工艺技术制备的。所制备的SNSPD样品,在温度3.5K下的临界电流约12.9μA;在1310nm波长光波辐照,12.5μA的偏置电流下,探测效率约0.016%。
- 杨晓燕尤立星张礼杰黄少铭Mintu MondalSanjeev KumarJohn JesudasanPratap Raychaudhuri
- 关键词：电子束曝光反应离子刻蚀
- 超导量子比特中铝超导隧道结的性能被引量：2
- 2011年
- 超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.
- 沈丹丹朱冉许伟伟常俊杰吉争鸣孙国柱曹春海陈健
- 关键词：隧道结电子束蒸发超导量子比特
