浙江省自然科学基金(M503062)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 相关作者：袁巨龙赵萍邓乾发吕冰海王志伟更多>>
- 相关机构：浙江工业大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 精密球新型研磨方式的仿真研究被引量：4
- 2005年
- 在精密球偏心V形槽研磨方式的基础上,提出一种新的研磨方式。运动分析结果表明,与偏心V形槽和传统V形槽研磨方式不同,该研磨方式下球坯的自转轴能够在180°范围内摆动,使研磨轨迹在球坯表面的分布更为均匀。通过仿真计算发现,在该研磨方式下偏心距对球坯表面研磨均匀性影响较小,并且,各槽内球坯所受研磨均匀性相同。
- 赵萍邓乾发王志伟吕冰海袁巨龙
- 定偏心平面研磨均匀性研究被引量：3
- 2005年
- 对修正环形抛光机CMP过程进行运动分析,给出研磨盘上一点相对于工件的速度矢量与轨迹方程。详细讨论研磨盘上不同位置的点的相对轨迹,通过对相对速度的讨论发现,当研磨盘与工件具有相同的角速度时,有利于工件平面度的提高。重点分析开螺旋槽的研磨盘对工件平面度的影响,提出用偏心保持架装置替代同心保持架装置,有利于工件平面度提高。实验结果与理论分析相符。
- 周兆忠郑家锦袁巨龙
- 关键词：CMP平面度
