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国家高技术研究发展计划(2007AA048315-1)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
宋朝辉
鲍海飞
陆德仁
刘民
李昕欣
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相关机构:
中国科学院
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年份
1篇
2009
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利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究
被引量:2
2009年
提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究。实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过同时比较监控两通道的输出波形,可以确定器件的横向灵敏度。此方法简单可靠,并容易实施,对测试中产生的误差进行分析。
鲍海飞
宋朝辉
李昕欣
刘民
张鲲
陆德仁
关键词:
微机电系统
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