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福建省科技计划重点项目(2009H2006)

作品数：2 被引量：0H指数：0
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相关领域：一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 1篇输运
  • 1篇输运现象
  • 1篇数值模拟
  • 1篇数值模拟研究
  • 1篇传质
  • 1篇传质分析
  • 1篇值模拟

机构

  • 2篇集美大学
  • 2篇江苏大学

作者

  • 2篇李晖

传媒

  • 2篇集美大学学报...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计
2011年
对喷淋式MOCVD反应器中的传质过程进行了数理分析,并提出了该类型反应器的结构设计原则.数理分析显示,基片上方各点的轴向速度仅是垂直距离的函数,与径向距离无关;顶壁高度对反应室内的传质有重要影响.设计喷淋式反应器结构时,应重点考虑顶壁高度和反应室半径的选取、基片加热方式以及喷淋头结构的柔性设计.
李晖
关键词：传质
HVPE反应器内输运现象的数值模拟研究
2010年
对用于制备GaN的具有同心圆喷头的HVPE(氢化物气相外延)反应器内的输运现象进行了三维数值模拟研究.在模拟计算中,分别改变总载气进口流量、同心圆喷口进口流量、重力、压强等条件,得到反应器内流场、温场、浓度场的相应变化.根据对模拟结果的分析,得出输运过程的优化条件为:尽量减小总载气进口流量,适当增大同心圆喷口的双进口流量,并降低反应室内的压强.
李晖
关键词：输运现象数值模拟
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共1页<1>
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