中国民航飞行学院自然科学基金(J2005-25)
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
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- 相关机构：电子科技大学中国民用航空飞行学院江苏工业学院更多>>
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- LiTa3O8薄膜制备与电性能研究被引量：3
- 2008年
- 以乙醇锂和乙醇钽为起始反应物,用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了新型钽酸锂LiTa_3O_8铁电薄膜.经XRD图谱对比,该薄膜结构不同于LiTaO_3晶体结构,与正交相结构类似.SEM分析显示经过750℃结晶退火的LiTa_3O_8薄膜表面均匀平整无裂纹,膜厚约为1μm.实验结果表明,在450kV/cm时,LiTa_3O_8薄膜剩余极化强度P_r为9.3μC/cm^2,矫顽场强E_c为126.8kV/cm;在9.SkV/cm时,LiTa_3O_8薄膜漏电电流为8.85×10^(-9)A/cm^2,比LiTaO_3薄膜漏电小;在1kHz时,LiTa_3O_8薄膜介电常数为58.4,介电损耗为0.26.溶胶-凝胶法制备的LiTa_3O_8薄膜结晶温度比LiTaO_3薄膜高50℃以上.
- 张德银黄大贵李金华李坤
- 关键词：铁电薄膜SOL-GEL铁电性能介电性能
