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国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ16000205)

作品数：4 被引量：10H指数：2
相关作者：徐智谋孙堂友彭静徐海峰张铮更多>>
相关机构：华中科技大学武汉科技大学更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程一般工业技术化学工程更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇纳米
  • 3篇纳米压印
  • 2篇阳极氧化铝
  • 1篇多孔硅
  • 1篇性能研究
  • 1篇阵列
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶凝胶
  • 1篇抛物面
  • 1篇钛酸
  • 1篇钛酸锶
  • 1篇钛酸锶钡
  • 1篇无损检测
  • 1篇纳米管
  • 1篇截顶
  • 1篇抗反射
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇胶凝
  • 1篇光谱

机构

  • 4篇华中科技大学
  • 3篇武汉科技大学

作者

  • 4篇徐智谋
  • 3篇彭静
  • 3篇孙堂友
  • 2篇刘世元
  • 2篇邹超
  • 2篇张铮
  • 2篇武兴会
  • 2篇马智超
  • 2篇徐海峰
  • 1篇刘思思
  • 1篇赵文宁
  • 1篇陈修国
  • 1篇何健
  • 1篇张学明

传媒

  • 4篇物理学报

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅表面抗反射纳米周期阵列结构的纳米压印制备与性能研究被引量：5
2013年
硅表面固有的菲涅耳反射,使得硅基半导体光电器件(如太阳能电池、红外探测器)表面有30%以上的入射光因反射而损失掉,严重影响着器件的光电转换效率.寻找一种方法降低硅基表面的反射率,进而提高器件的效率成为近年来研究的重点.本文基于纳米压印光刻技术,在2英寸单晶硅表面制备出周期530nm,高240nm的二维六角截顶抛面纳米柱阵列结构.反射率的测试表明,当入射光角度为8°时,有纳米结构的硅片相对于无纳米结构的硅片来讲,在400到2500nm波长范围内的反射率有很明显的降低,其中,800到2000nm波段的反射率都小于10%,在波长1360nm附近的反射率由31%降低为零.结合等效介质理论和严格耦合波理论对结果进行了分析和验证.
张铮徐智谋孙堂友何健徐海峰张学明刘世元
关键词：纳米压印抗反射
基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测被引量：1
2014年
本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,纳米结构关键尺寸、侧壁角等三维形貌参数的测量精度最大可达99.97%,该技术对于无损检测有着一定的推动意义.
马智超徐智谋彭静孙堂友陈修国赵文宁刘思思武兴会邹超刘世元
关键词：纳米压印光栅无损检测
钛酸锶钡纳米管的制备及其红外吸收性能研究
2015年
首次采用溶胶凝胶法结合通孔阳极氧化铝模板,成功制备出了钛酸锶钡纳米管.该制备工艺简单、易实现而且成本低.首先制备通孔阳极氧化铝模板和钛酸锶钡溶胶,然后通过浸渍加上匀胶的方法将钛酸锶钡溶胶引入到通孔阳极氧化铝模板的纳米孔洞中,最后在650C下煅烧1 h形成钛酸锶钡纳米管.X射线衍射(XRD)证明,制得的钛酸锶钡纳米管为立方钙钛矿相,主要沿(110)晶向生长.扫描电子显微镜(SEM)显示,钛酸锶钡纳米管外径、内径和管长分别为75 nm,50 nm,16μm.傅里叶变换显微红外光谱仪(FTIR)测试结果表明在波数为1350—1650 cm 1红外波段,阳极氧化铝/钛酸锶钡纳米管复合结构较钛酸锶钡薄膜有两处明显的吸收峰,吸收峰位于1470和1550 cm 1处,与通孔阳极氧化铝模板相比其吸收峰强度高出一倍,最后分析了出现这一现象的可能原因.
邹超徐智谋马智超武兴会彭静
关键词：溶胶凝胶红外吸收
纳米压印多孔硅模板的研究被引量：4
2014年
纳米压印模板通常采用极紫外光刻、聚焦离子束光刻和电子束光刻等传统光刻技术制备,成本较高.寻找一种简单、低成本的纳米压印模板制备方法以提升纳米压印光刻技术的应用成为研究的重点与难点.本文以多孔氧化铝为母模板,采用纳米压印光刻技术对纳米多孔硅模板的制备进行了研究.在硅基表面成功制备出纳米多孔阵列结构,孔间距为350—560 nm,孔径在170—480 nm,孔深为200 nm.在激发波长为514 nm时,拉曼光谱的测试结果表明,相对于单面抛光的硅片,纳米多孔结构的硅模板拉曼光强有了约12倍左右的提升,对提升硅基光电器件的应用具有重要的意义.最后,利用多孔硅模板作为纳米压印母模板,通过热压印技术,成功制备出了聚合物纳米柱软模板.
张铮徐智谋孙堂友徐海峰陈存华彭静
关键词：纳米压印阳极氧化铝多孔硅拉曼光谱
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