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国家杰出青年科学基金(60301006)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：罗仲梓吴清鑫于映陈光红更多>>
相关机构：厦门大学苏州市职业大学南京邮电大学更多>>
发文基金：福建省自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇射频MEMS...
  • 2篇开关
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇氯苯
  • 1篇浸泡
  • 1篇RF_MEM...

机构

  • 2篇南京邮电大学
  • 2篇苏州市职业大...
  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇陈光红
  • 2篇于映
  • 2篇吴清鑫
  • 2篇罗仲梓

传媒

  • 1篇苏州市职业大...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
悬臂梁接触式RF MEMS开关的关键工艺研究被引量：1
2009年
采用厚度为2μm的Au制作成共平面波导（CPW）、聚酰亚胺作为牺牲层、PECVD法淀积Si3N4薄膜作为悬臂梁，制作成悬臂梁接触式RF MEMS开关。着重对开关的关键工艺-CPV的Au剥离工艺和悬臂梁制作工艺进行研究，讨论了工艺中存在的问题及其解决方法。通过实验获得较佳的工艺参数，并制作出驱动电压为12-20V的悬臂梁接触式RF MEMS开关。
吴清鑫陈光红于映罗仲梓
关键词：射频MEMS开关悬臂梁
射频MEMS开关中金属剥离工艺研究
2012年
研究用BP212正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZP4620正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量.用扫描电镜(SEM)观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离.
陈光红吴清鑫于映罗仲梓
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