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国家科技重大专项(2009ZX02202-002)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：邢莎莎刘旭吴仍茂李海峰郑臻荣更多>>
相关机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇投影光刻
  • 1篇曲面
  • 1篇自由曲面
  • 1篇离轴
  • 1篇离轴照明
  • 1篇光刻
  • 1篇光束
  • 1篇光束整形
  • 1篇光学
  • 1篇光学设计
  • 1篇分辨率
  • 1篇分辨率增强

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇郑臻荣
  • 1篇李海峰
  • 1篇吴仍茂
  • 1篇刘旭
  • 1篇邢莎莎

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计被引量：7
2011年
离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求,提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系,利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进行模拟,分别设计了环形、二极和四极照明,照明效率均达到90%以上,照明均匀性均优于93%。结果表明,可以满足193 nm投影光刻照明系统的设计要求。
邢莎莎吴仍茂李海峰郑臻荣刘旭
关键词：光学设计自由曲面投影光刻分辨率增强光束整形
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