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云南省科技厅科研基金(2006E0033M)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：陈义李承晴廖华黄小龙李雷更多>>
相关机构：云南师范大学更多>>
发文基金：云南省科技厅科研基金更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇酸腐蚀
  • 1篇反射率
  • 1篇表面形貌
  • 1篇表面织构

机构

  • 1篇云南师范大学

作者

  • 1篇邵俊刚
  • 1篇李雷
  • 1篇黄小龙
  • 1篇廖华
  • 1篇李承晴
  • 1篇陈义

传媒

  • 1篇太阳能学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
酸腐蚀液对多晶硅表面织构的影响被引量：6
2010年
通过在富HF的HF-HNO_3溶液体系中加入新的添加剂NH_3·H_2O,对多晶硅片进行了腐蚀试验研究。在溶液配比为HF:HNO_3:NH_3·H_2O:H_2O=12:1:1:4(体积比),腐蚀时间为10min时得到的效果最好,多晶硅的织构表面沟槽的密度更高、分布更均匀;在波长300～1000nm的范围内平均反射率为5.13%。能够获得低反射率的多晶硅织构表面的主要原因为:加入的NH_3·H_2O以及系统中反应生成的NH_4NO_3分解时产生的N_2O气体和NO_2^-起到关键作用。
邵俊刚廖华黄小龙陈义李雷李承晴
关键词：酸腐蚀多晶硅表面形貌反射率
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