原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)是纳米技术和纳米操作领域中最重要的研究工具之一.本文针对扫描成像的原子力显微镜,提出了一种改进的AFM动态成像方法,该方法分析了AFM系统中样品与针尖之间的非线性力对成像精度的影响,通过对扫描过程中获得的成像数据进行融合滤波,有效地提高了快速AFM的成像精度.具体而言,论文首先分析了原子力显微镜当前成像方法存在的主要问题,然后针对在高速扫描或者样品形貌高度有突变时,因AFM系统中非线性因素而引起的成像误差,提出了一种基于临近点集数据融合的改进动态成像方法,以提高AFM对于样品表面形貌的成像精度.最后分别利用原子力显微镜仿真平台数据和实验数据,验证了本文提出的改进成像方法的性能.
