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中国科学院重大科研装备研制项目(YZ0637)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：孔雯刘勇陈宇航赵钢褚家如更多>>
相关机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：中国科学院重大科研装备研制项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇单电子
  • 1篇电子自旋
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇针尖
  • 1篇自旋
  • 1篇微悬臂梁

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇褚家如
  • 1篇赵钢
  • 1篇陈宇航
  • 1篇刘勇
  • 1篇孔雯

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作及端头磁针尖设计被引量：2
2010年
提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法。采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁减薄至0.5μm,同时生成SiO2保护层。在KOH溶液进行体硅刻蚀过程中,以黑蜡和SiO2保护层作为正面保护,之后用溶液置换方法完成埋氧层去除及悬臂梁清洗过程。悬臂梁尺寸为465μm×10μm×0.5μm,室温真空中Q值为23000,在低温环境中可以满足单电子自旋探测要求。分析比较了球体、圆锥体、圆柱体三种磁针尖磁场梯度分布,为磁针尖结构设计提供了依据。
刘勇赵钢陈宇航孔雯褚家如
关键词：悬臂梁电子自旋
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