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安徽省高校省级自然科学研究项目(2005kj034zd)
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
相关作者:
蒋百灵
严少平
段冰
顾广颐
孙雅琴
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相关机构:
安徽理工大学
西安理工大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
安徽省高校省级自然科学研究项目
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相关领域:
一般工业技术
机械工程
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文献类型
2篇
中文期刊文章
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机械工程
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显微硬度
2篇
非平衡磁控溅...
2篇
磁控
2篇
磁控溅射
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性能研究
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微观结构
1篇
摩擦学
1篇
摩擦学性能
1篇
CR
1篇
掺铬
机构
2篇
安徽理工大学
2篇
西安理工大学
作者
2篇
严少平
2篇
蒋百灵
1篇
李洪涛
1篇
张永宏
1篇
陈迪春
1篇
孙雅琴
1篇
顾广颐
1篇
段冰
传媒
2篇
安徽理工大学...
年份
1篇
2009
1篇
2007
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掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究
被引量:1
2007年
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,以电流控制方式在高速钢和硅基底上制备了不同Cr含量的C/Cr类石墨薄膜,测量了类石墨膜的显微硬度、膜基结合强度、摩擦系数和比磨损率,分析了薄膜的相结构,观察了薄膜的表面和断面形貌。结果表明:所制备的类石墨薄膜随Cr含量的增高,硬度逐渐降低,结合强度先增后降,摩擦系数和比磨损率则先降后升;类石墨膜是含有多种纳米晶的非晶结构;金属元素Cr含量影响了类石墨碳膜的表面形貌和组织结构。当Cr含量在0.5%~2.5%时,薄膜表面光滑而结构致密,摩擦系数小且比磨损率低,膜基结合强度高,具有良好减摩耐磨性能。
严少平
蒋百灵
段冰
顾广颐
孙雅琴
关键词:
摩擦学性能
非平衡磁控溅射
显微硬度
非平衡磁控溅射掺Cr类石墨镀层的结构分析
被引量:1
2009年
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调节Cr靶的溅射功率,在单晶硅基片上沉积制备了一系列不同Cr含量的类石墨(Cr-GLC)镀层样品。利用Raman光谱仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子电镜(TEM)、显微硬度计分析了Cr-GLC的微观结构和显微硬度。结果表明,利用非平衡磁控溅射得到的Cr-GLC镀层,随Cr含量的增高,硬度逐渐降低并趋于稳定。当Cr含量小于4%时,Cr只以单质非晶态分布于非晶GLC中,Cr的掺杂降低了内应力;当Cr含量超过4%后,还有CrC_X纳米晶存在于非晶态的GLC中;镀层由C、Cr和CrC_X纳米晶粒组成非晶结构。
严少平
蒋百灵
张永宏
陈迪春
李洪涛
关键词:
微观结构
显微硬度
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