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陕西省教育厅科研计划项目(2009JK362)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：鲁俊雀伍媛婷王秀峰许雅琴更多>>
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相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇气相法
  • 1篇气相法制备
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇陕西科技大学

作者

  • 1篇许雅琴
  • 1篇王秀峰
  • 1篇伍媛婷
  • 1篇鲁俊雀

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ZnO薄膜气相法制备被引量：1
2011年
ZnO薄膜具有压电、光电、压敏、气敏、发光等多种特性,应用十分广泛。介绍了ZnO薄膜气相法制备原理中的各类主要方法,包括脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延、金属有机化合物化学气相沉积、单源化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积等技术;分析了这些方法的优缺点;展望了ZnO薄膜今后的研究方向。
鲁俊雀王秀峰伍媛婷许雅琴
关键词：氧化锌薄膜ZNO薄膜气相法
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共1页<1>
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