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四川省科技攻关计划(03SG1230)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：张涛程玉华周秀云更多>>
相关机构：电子科技大学四川大学更多>>
发文基金：四川省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇双频激光
  • 1篇双频激光干涉
  • 1篇双频激光干涉...
  • 1篇频差
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇干涉仪
  • 1篇测速

机构

  • 1篇电子科技大学
  • 1篇四川大学

作者

  • 1篇周秀云
  • 1篇程玉华
  • 1篇张涛

传媒

  • 1篇电子科技大学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究被引量：3
2009年
现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路,构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证,其精度达到0.1μm/800mm。实验证明,该干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量。
周秀云张涛程玉华
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