辛将
作品数： 21被引量：1H指数：1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

朱效立
作品数：155被引量：126H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衍射效率 电子束直写 衍射光学元件 衬底
刘明
作品数：1,378被引量：409H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
谢常青
作品数：507被引量：263H指数：8
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
高南
作品数：13被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：大高宽比 衬底 测量方法 波带片 衍射元件
李志超
作品数：126被引量：227H指数：9
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：激光等离子体 惯性约束聚变 探测器 针孔 激光聚变
作品列表