-
冯金花
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 何渝
- 作品数:72被引量:37H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
- 胡松
- 作品数:469被引量:436H指数:8
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 唐燕
- 作品数:108被引量:41H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
- 李艳丽
- 作品数:38被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
- 赵立新
- 作品数:228被引量:71H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片