贾棋
作品数: 19被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

欧欣
作品数:387被引量:13H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 缺陷层 压电薄膜 键合 谐振器
黄凯
作品数:113被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:缺陷层 衬底 键合 压电薄膜 晶圆
游天桂
作品数:144被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 缺陷层 键合 氧化镓 晶圆
王曦
作品数:532被引量:250H指数:9
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
尤立星
作品数:234被引量:112H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:单光子探测器 超导 纳米线 超导薄膜 单光子探测