-
谢耀
-

-

- 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 所在地区:吉林省 长春市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 王丽萍

- 作品数:147被引量:124H指数:7
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
- 周烽

- 作品数:106被引量:15H指数:2
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
- 郭本银

- 作品数:71被引量:10H指数:2
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 面形 沥青 六自由度 微缩
- 金春水

- 作品数:356被引量:270H指数:9
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
- 王辉

- 作品数:108被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测