-
胡芳菲
-

-

- 所属机构:合肥工业大学
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 许高斌

- 作品数:131被引量:192H指数:8
- 供职机构:合肥工业大学
- 研究主题:多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
- 展明浩

- 作品数:8被引量:49H指数:4
- 供职机构:合肥工业大学电子科学与应用物理学院
- 研究主题:ICP 工艺参数 刻蚀 ICP刻蚀 高深宽比
- 陈兴

- 作品数:81被引量:139H指数:8
- 供职机构:合肥工业大学
- 研究主题:MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
- 沈文清

- 作品数:1被引量:0H指数:0
- 供职机构:合肥工业大学电子科学与应用物理学院
- 研究主题:传感器设计 传感器 加速度 灵敏度 谐振频率
- 马渊明

- 作品数:81被引量:82H指数:6
- 供职机构:合肥工业大学
- 研究主题:MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 光电探测器 过载