刘俊伯
作品数: 96被引量:19H指数:3
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

胡松
作品数:468被引量:436H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
邓钦元
作品数:48被引量:21H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
周毅
作品数:53被引量:21H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
赵立新
作品数:226被引量:71H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
杜婧
作品数:36被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链