潘国顺
作品数: 168被引量:273H指数:11
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:金属学及工艺
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

雒建斌
作品数:624被引量:1,166H指数:19
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
周艳
作品数:34被引量:27H指数:3
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
路新春
作品数:356被引量:356H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
顾忠华
作品数:43被引量:5H指数:1
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
戴媛静
作品数:53被引量:118H指数:4
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率