吕苗
作品数: 49被引量:61H指数:4
  • 所属机构:西安电子科技大学
  • 所在地区:陕西省 西安市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国防科技重点实验室基金

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赵正平
作品数:111被引量:272H指数:8
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一种平面多级功率分配器
一种平面多级功率分配器,包括若干条由金属带线和金属板构成的射频传输线;所述的金属带线包括一个总输入端口以及围绕总输入端口设置的K层圆环带线,总输入端口与最内层圆环带线以及各层圆环带线之间通过Y条连接带线连接,最外层圆环带...
樊芳芳吕苗鄢泽洪张天龄李延平
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自适应触点的微机械继电器
本实用新型公开了一种自适应触点的微机械继电器,它涉及半导体器件领域中硅继电器器件。它由基板、驱动电极、接触电极、单晶硅簧片、绝缘层、自适应触点等部件构成。它采用驱动电极上施加电压时,静电力驱动单晶硅簧片和其上的自适应触点...
吕苗胡小东赵正平
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基于硅硅键合的全干法深刻蚀微机械加工方法
本发明公开了一种基于硅硅键合的全干法深刻蚀微机械加工方法,它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件的制造。它将低阻硅片和带氧化绝缘层的衬底硅片键合为整体,在低阻硅片上制备微机械结构。它采用硅-硅键合、双...
胡小东吕苗
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薄膜体声波谐振器及其应用被引量:3
2006年
综合阐述薄膜体声波谐振器技术,简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程,对其物理模型和等效电路模型进行了回顾,对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析,并讨论了其使用的压电材料和电极材料,最后给出了该器件在微波领域的典型应用和相关指标。
池志鹏赵正平吕苗杨瑞霞
关键词:体声波谐振器滤波器
一种基于间隙波导技术的带通滤波器
一种基于间隙波导技术的带通滤波器,包括表面开槽的金属地板,以及配合金属地板组成封闭腔体的金属盖板;所述的封闭腔体内设置介质基板,介质基板上具有周期性交错排布的耦合结构,以及被耦合结构隔开,用于组合金属盖板和金属地板形成谐...
樊芳芳吕苗王金辉鄢泽洪张天龄
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全干法深刻蚀硅溶片制造方法
本发明公开了一种全干法深刻蚀硅溶片制造方法,它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统器件结构的制造。它采用玻璃片、硅片、硅片的三层结构。利用全干法工艺实现MEMS可动硅结构制造。并且本发明还具有制造工艺简单,能...
吕苗何洪涛徐永青
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A DC-to-32GHz 2Bit MEMS Phase Shifter
2004年
A two-bit phase shifter with distributed microelectromechanical system (MEMS) transmission line (DMTL) is developed,and a novel structure which be actuated by coplanar waveguide transmission line (CPW-actuation structure) is proposed,which can reduce the actuation voltage significantly.The measured result,with actuation voltage less than 20V,0°/20.1°/41.9°/68.2° phase shift and -1.2dB insert loss at 20GHz,is demonstrated,and insertion loss/return loss is better than -1.8dB/-11dB from DC to 32GHz.The experimental results highlight the potential of a low-loss and broadband digital MEMS phase shifter on a high-permittivity substrate.
娄建忠赵正平杨瑞霞吕苗胡小东
关键词:MEMS
一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片。与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点。设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性。
罗蓉徐爱东王玮吕苗
关键词:MEMS微通道
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多岛单电子晶体管的实现及其源漏特性分析被引量:7
2005年
在淀积有纳米间隙栅电极、源电极和漏电极的衬底上生长量子点 ,制作出多岛结构的单电子晶体管 .在 77K温度下对源漏特性进行了测试 ,得到了库仑阻塞特性 .并且成功抑制了单岛单电子晶体管中易出现的共隧穿效应 ,观察到较大的库仑阈值电压 .对试验数据进行了分析 ,阐明了岛的不同结构组态产生的不同输运效果 .
郭荣辉赵正平郝跃刘玉贵武一宾吕苗
关键词:量子点库仑阻塞
MEMS电开关的微机理、微工艺和微效应
吕苗
关键词:微电子机械系统开关微细加工集成电路
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