-
沈绍群
-
-
- 所属机构:复旦大学信息科学与工程学院
- 所在地区:上海市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 鲍敏杭
- 作品数:100被引量:210H指数:8
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
- 杨恒
- 作品数:146被引量:136H指数:6
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
- 李昕欣
- 作品数:535被引量:376H指数:10
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
- 尹颢
- 作品数:8被引量:8H指数:2
- 供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
- 研究主题:微机械 硅 静电驱动 各向异性腐蚀 非线性
- 夏钟福
- 作品数:192被引量:353H指数:12
- 供职机构:同济大学
- 研究主题:驻极体 压电性 压电 电荷 空间电荷