李雯
作品数： 9被引量：8H指数：1
  • 所属机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

谭智敏
作品数：42被引量：89H指数：5
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统
刘理天
作品数：623被引量：885H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
薛昕
作品数：5被引量：7H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：3-D MEMS 光刻胶 电感 SU-8
作品列表