-
曹鹤
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
相关作者
- 陈岚
- 作品数：911被引量：175H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
- 徐勤志
- 作品数：85被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 表面形貌
- 张贺
- 作品数：42被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：CMP 版图 网格 冗余 仿真方法
- 刘建云
- 作品数：36被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：研磨 研磨液 CMP 表面形貌 平坦性
- 孙艳
- 作品数：35被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：网格 CMP 仿真方法 金属 冗余
