-
谢欣云
-

-

- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 林成鲁

- 作品数:249被引量:547H指数:13
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
- 林青

- 作品数:12被引量:21H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
- 门传玲

- 作品数:63被引量:118H指数:6
- 供职机构:上海理工大学能源与动力工程学院
- 研究主题:碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
- 刘卫丽

- 作品数:178被引量:111H指数:7
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
- 沈勤我

- 作品数:49被引量:62H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发