-
楼飞燕
-

-

- 所属机构:浙江工业大学
- 所在地区:浙江省 杭州市
- 研究方向:金属学及工艺
- 发文基金:浙江省自然科学基金
相关作者
- 吕冰海

- 作品数:396被引量:734H指数:12
- 供职机构:浙江工业大学
- 研究主题:抛光 抛光液 磨粒 研磨 研磨盘
- 袁巨龙

- 作品数:485被引量:1,383H指数:16
- 供职机构:浙江工业大学
- 研究主题:抛光 磨粒 研磨 研磨盘 抛光液
- 邓乾发

- 作品数:236被引量:209H指数:8
- 供职机构:浙江工业大学
- 研究主题:磨粒 抛光 抛光液 研磨 固着
- 王志伟

- 作品数:76被引量:280H指数:7
- 供职机构:浙江工业大学
- 研究主题:半固着磨具 研磨盘 大颗粒 自转 研磨
- 郑晓锋

- 作品数:5被引量:4H指数:1
- 供职机构:浙江工业大学
- 研究主题:CMP 荧光强度 晶圆 抛光液 LIF